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耐火材料硅溶胶-镁铝合金的化学机械抛光
 
作者:admin  来源:本站  发表时间:2019-8-22 10:19:48  点击:691

镁铝合金是具有重要战略意义的金属合金。耐火材料硅溶胶近年来,跟着高新技能的开展,对资料极高精度、近无缺点的平面化加工技能提出了更高的要求,而且在某些平面设备中,飞片、样品等要害或重要零件,需要对某些合金资料完成极高精度、近无缺点的超精细平面化加工。镁铝合金资料因其本身优秀的功能,在国防、航空、航天、化工、电子以及机械制造等范畴得到了愈来愈广泛的使用,而且对其外表完美性提出更高的要求。因而研究镁铝合金资料的外表加工具有重要的使用价值。
    目前国内镁铝合金的外表抛光工艺,耐火材料硅溶胶主要有机械抛光和化学抛光。机械抛光是经过抛光液中的研磨介质与资料外表的粗糙部分进行充沛接触,然后下降资料外表粗糙度的进程,可是此种办法抛光精度较低,但其抛光较快;化学抛光是经过抛光猜中的化学成分与被抛光资料发作腐蚀等化学反应,然后将资料外表的粗糙度下降的进程,其抛光精度较高,可是其外表平整度、平行度差。镁铝合金的化学抛光又可分为酸性抛光和碱性抛光,都不易得到令人满意的效果,要得到完美的外表有必要开展新的抛光技能。化学机械抛光可以真正使镁铝合金衬底完成全局平面化,然后得到较好的外表和较高的抛光,国内外用此办法对金属抛光使用非常广泛,但对合金抛光使用方面却研究甚少。
化学机械抛光CMP技能是凭借超微粒子的研磨和浆猜中的化学反应一起作用,耐火材料硅溶胶集冲突学、流体力学与化学为一体的超精细平坦化加工技能。它可防止单一机械抛光中硬磨料引起的外表脆性裂纹和凹痕、避免磨粒耕犁引起的拱起及划痕,可获得近无缺点的光滑外表,且精度极高。因而要想得到低粗糙度高平整化的镁铝合金外表有必要采用化学机械抛光技能。
    镁铝合金CMP模型机理是首要金属外表被氧化剂氧化,构成外表质软的氧化膜;外表凸起处的氧化膜被纳米磨粒(如SiO2)的机械磨损除去,脱离外表并在抛光液中进一步发作化学反应,转化为溶于水的物质;而凹处得到氧化膜的有效保护,抛光低。研磨后凸起处的金属被暴露出来,新鲜的外表在抛光液的作用下继续被氧化,机械研磨除去,生成的金属离子或与抛光液中的络合剂反应构成大分子络合物,或构成可溶于水的盐类,被抛光液带走。因而,抛光进程可依照化学反应-磨离-再化学反应-再磨离的方式循环进行,直到得到完美的资料外表。

 


 


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